MEMS元件應用與技術發展論壇特別報導

CMOS/MEMS整合有譜 CE應用商機起

2009 年 02 月 27 日
利用MEMS技術所開發出的加速度計、陀螺儀、麥克風及振盪器等元件,已廣獲消費性電子業者的青睞,而為進一步提高市場導入速度,以CMOS MEMS製程整合的單晶片技術,扮演著舉足輕重的角色。
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